光起電力素子の特性検査装置及び製造方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福森久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996000358
Publication number (International publication number)：1997186212
Application date： Jan. 05, 1996
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は、光起電力素子に照射する光量に依存した電圧特性を測定することにより、光起電力素子のシャントの度合いが確認でき、長期信頼性の確保できる素子を抽出することが可能な、光起電力素子の特性検査装置及び製造方法を提供する。【解決手段】本発明の光起電力素子の特性検査装置は、少なくとも光源と測定部からなる光起電力素子の特性検査装置において、前記光起電力素子で発生した起電圧が、照射される光量に対してほぼ直線状に変化する範囲にある前記光量の光を、前記光起電力素子の光照射面側の少なくとも一部に照射することを特徴とする。本発明の光起電力素子の製造方法は、前記特性検査装置を用いて光起電力素子の特性検査を行う工程を有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

少なくとも光源と測定部からなる光起電力素子の特性検査装置において、前記光起電力素子で発生した起電圧が、照射される光量に対してほぼ直線状に変化する範囲にある前記光量の光を、前記光起電力素子の光照射面側の少なくとも一部に照射することを特徴とする光起電力素子の特性検査装置。

IPC (3)：

H01L 21/66 , G01R 1/067 , H01L 31/04

FI (4)：

H01L 21/66 X , H01L 21/66 B , G01R 1/067 , H01L 31/04 K

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

光起電力素子の短絡箇所除去方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-305257 Applicant：キヤノン株式会社
プローブユニット及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-009153 Applicant：株式会社神戸製鋼所
バックリングビームテストプローブアセンブリ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-105973 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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