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J-GLOBAL ID：200903052407559105

誘電体バリア放電ランプ装置

Inventor： 松野 博光 ,  五十嵐 龍志 ,  菱沼 宣是 ,  岡本 昌士
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994340650
Publication number (International publication number)：1996124536
Application date： Oct. 25, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 オゾンの発生による電極の腐食がなく、従って、長寿命の誘電体バリア放電ランプ装置を提供する。【構成】 誘電体バリア放電によってエキシマを形成するガスが充填された放電容器と、誘電体バリア放電を行うための電極と、誘電体バリア放電によって発生した紫外エキシマ光を取り出す窓部材を有する誘電体バリア放電ランプ41と、これを収納する概略気密なランプハウス42と、ランプハウス内を不活性ガスで満たす手段と、誘電体バリア放電を行うための電源装置6とからなる誘電体バリア放電ランプ装置において、ランプハウス内に設けた紫外エキシマ光を検出する手段14と、紫外エキシマ光の強度を予め設定した値と比較する手段と、紫外エキシマ光の強度が予め設定した値以下の場合に状態を表示する手段16を設ける。

Claim (excerpt)：

誘電体バリア放電によってエキシマを形成するガスが充填された放電容器と、該ガスを放電用ガスとした誘電体バリア放電を行うための電極と、該誘電体バリア放電によって発生した紫外エキシマ光を取り出す窓部材を有する誘電体バリア放電ランプと、該誘電体バリア放電ランプを収納する紫外エキシマ光を取り出す窓部材を有する概略気密なランプハウスと、該ランプハウス内を不活性ガスで満たす手段と、該誘電体バリア放電を行うための電源装置とからなる誘電体バリア放電ランプ装置において、該ランプハウス内に設けられた該紫外エキシマ光を検出する手段と、該紫外エキシマ光の強度を予め設定した値と比較するする手段と、該紫外エキシマ光の強度が予め設定した値以下の場合に該状態を表示する手段を設けたことを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。

IPC (2)：

H01J 65/04 ,  G21K 5/00