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J-GLOBAL ID：200903052421924096

感光性樹脂組成物

Inventor： 岡 英隆 ,  国本 和彦 ,  倉 久稔 ,  大和 真樹 ,  田辺 潤一
Applicant, Patent owner： チバ スペシャルティ ケミカルズ ホールディング インコーポレーテッド
Agent (1)： 津国 肇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000376036
Publication number (International publication number)：2001235858
Application date： Dec. 11, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 反応性であり、アルカリ現像可能であり、扱いやすく、良好な解像性を示し、たとえば熱安定性及び貯蔵安定性のような性質に対して産業の高い要求を満たす、特に画像形成配合物として適した感光性組成物の提供。【解決手段】 (A)少なくとも1種のアルカリ可溶性結合剤樹脂、プレポリマー又はモノマー成分と、(B)少なくとも1種の式I又はII【化20】(式中、R1は、例えばC4〜C9シクロアルカノイルであり、Ar1は、例えばC6〜C20アリールであり、Xは、例えば2であり、M1は、例えばフェニレンである)で示される化合物と、(C)光重合性化合物を含む、アルカリ現像可能な感光性組成物。

Claim (excerpt)：

(A)少なくとも1種のアルカリ可溶性結合剤樹脂、プレポリマー又はモノマー成分と、(B)少なくとも1種の式I又はII【化1】(式中、R1は、C4〜C9シクロアルカノイル、C3〜C12アルケノイル;非置換であるか、1個以上のハロゲン、CN又はフェニルによって置換されているC1〜C20アルカノイルであるか;非置換であるか、1個以上のC1〜C6アルキル、ハロゲン、CN、OR3、SR4又はNR5R6によって置換されているベンゾイルであるか;C2〜C12アルコキシカルボニルもしくはベンジルオキシカルボニル、又は;非置換であるか、1個以上のC1〜C6アルキル又はハロゲンによって置換されているフェノキシカルボニルであり;Ar1は、C6〜C20アリール又はC6〜C20アリーロイルであり、両基は、非置換であるか、ハロゲン、C1〜C20アルキル、ベンジル、C1〜C20アルカノイル、C3〜C8シクロアルキルによって1〜12回置換されているか;フェニル又はベンゾイル(それぞれが場合によっては1個以上のOR3、SR4又はNR5R6によって置換されている)によって置換されているか;C2〜C12アルコキシカルボニル(場合によっては1個以上の-O-によって中断されている、及び/又は、場合によっては1個以上のヒドロキシル基によって置換されている)によって置換されているか;フェノキシカルボニル、OR3、SR4、SOR4、SO2R4又はNR5R6によって置換されており、置換基OR3、SR4又はNR5R6は、場合によっては、基R3、R4、R5及び/又はR6を介して、C6〜C20アリールもしくはC6〜C20アリーロイル基のアリール環上のさらなる置換基又はC6〜C20アリールもしくはC6〜C20アリーロイル基のアリール環の炭素原子の1個とで五又は六員環を形成し;あるいは、Ar1は、R1がアセチルであるならばC3〜C9ヘテロアリールであり、該C3〜C9ヘテロアリールは、非置換であるか、ハロゲン、C1〜C20アルキル、ベンジル、C1〜C20アルカノイル又はC3〜C8シクロアルキルによって1〜7回置換されているか;フェニル又はベンゾイル(それぞれが場合によっては1個以上のOR3、SR4又はNR5R6によって置換されている)によって置換されているか;C2〜C12アルコキシカルボニル(場合によっては1個以上の-O-によって中断されている、及び/又は、場合によっては1個以上のヒドロキシル基によって置換されている)によって置換されているか;あるいは、該C6〜C20アリール又はC6〜C20アリーロイルは、フェノキシカルボニル、OR3、SR4、SOR4、SO2R4又はNR5R6によって置換されており;xは、2又は3であり;M1は、xが2である場合、【化2】であり、それぞれが場合によってはハロゲン、C1〜C12アルキル、C3〜C8シクロアルキル、ベンジル;非置換であるか、1個以上のOR3、SR4又はNR5R6によって置換されているフェニル;非置換であるか、1個以上のOR3、SR4又はNR5R6によって置換されているベンゾイル;C1〜C12アルカノイル;場合によっては1個以上の-O-によって中断されている、及び/又は、場合によっては1個以上のOH、フェノキシカルボニル、OR3、SR4、SOR4、SO2R4又はNR5R6によって置換されているC2〜C12アルコキシカルボニルによって1〜12回置換されており;あるいは、M1は、xが3である場合、【化3】であり、それぞれが場合によってはハロゲン、C1〜C12アルキル、C3〜C8シクロアルキル;非置換であるか、1個以上のOR3、SR4又はNR5R6によって置換されているフェニル;ベンジル、ベンゾイル、C1〜C12アルカノイル;場合によっては1個以上の-O-によって中断されている、及び/又は、場合によっては1個以上のヒドロキシル基、フェノキシカルボニル、OR3、SR4、SOR4、SO2R4又はNR5R6によって置換されているC2〜C12アルコキシカルボニルによって1〜12回置換されており;M2は、直接結合、-O-、-S-、-SS-、-NR3-、-(CO)-、C1〜C12アルキレン、シクロへキシレン、フェニレン、ナフチレン、-(CO)O-(C2〜C12アルキレン)-O(CO)-、-(CO)O-(CH2CH2O)n-(CO)-又は-(CO)-(C2〜C12アルキレン)-(CO)-であるか;それそれが場合によっては1〜5個の-O-、-S-及び/又は-NR3-によって置換されているC4〜C12アルキレン又はC4〜C12アルキレンジオキシ-であり;M3は、直接結合、-CH2-、-O-、-S-、-SS-、-NR3-又は-(CO)-であり;M4は、【化4】であり;R3は、水素又はC1〜C20アルキルであるか;-OH、-SH、-CN、C3〜C6アルケノキシ、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2(CO)O(C1〜C4アルキル)、-O(CO)-C1〜C4アルキル、-O(CO)-フェニル、-(CO)OH、-(CO)O(C1〜C4アルキル)、-N(C1〜C4アルキル)2、-N(CH2CH2OH)2、-N〔CH2CH2O-(CO)-C1〜C4アルキル〕2又はモルホリニルによって置換されているC2〜C12アルキルであるか;1個以上の-O-によって中断されているC2〜C12アルキルであるか;-(CH2CH2O)n+1H、-(CH2CH2O)n(CO)-C1〜C8アルキル、C1〜C8アルカノイル、C3〜C12アルケニル、C3〜C6アルケノイル、C3〜C8シクロアルキルであるか;非置換であるか、1個以上のC1〜C6アルキル、ハロゲン、-OH又はC1〜C4アルコキシによって置換されているベンゾイルであるか;それぞれが非置換であるか、ハロゲン、-OH、C1〜C12アルキル、C1〜C12アルコキシ、フェニル-C1〜C3アルコキシ、フェノキシ、C1〜C12アルキルスルファニル、フェニルスルファニル、-N(C1〜C12アルキル)2、ジフェニルアミノ又は-(CO)R7によって置換されているフェニル又はナフチルであるか;フェニル-C1〜C3アルキル又はSi(C1〜C6アルキル)r(フェニル)3-rであり;rは、0、1、2又は3であり;nは、1〜20であり;R4は、水素、C1〜C20アルキル、C3〜C12アルケニル、C3〜C8シクロアルキル、フェニル-C1〜C3アルキル;-OH、-SH、-CN、C3〜C6アルケノキシ、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2(CO)O(C1〜C4アルキル)、-O(CO)-C1〜C4アルキル、-O(CO)-フェニル、-(CO)OH又は-(CO)O(C1〜C4アルキル)によって置換されているC2〜C8アルキルであるか;1個以上の-O-又は-S-によって中断されているC2〜C12アルキルであるか;-(CH2CH2O)n+1H、-(CH2CH2O)n(CO)-C1〜C8アルキル、C2〜C8アルカノイル、C3〜C12アルケニル、C3〜C6アルケノイルであるか;それぞれが非置換であるか、ハロゲン、C1〜C12アルキル、C1〜C12アルコキシ又は-(CO)R7によって置換されているフェニル又はナフチルであり;R5及びR6は、互いに独立して、水素、C1〜C20アルキル、C2〜C4ヒドロキシアルキル、C2〜C10アルコキシアルキル、C3〜C5アルケニル、C3〜C8シクロアルキル、フェニル-C1〜C3アルキル、C1〜C4アルカノイル、C3〜C12アルケノイル、ベンゾイルであるか;それぞれが非置換であるか、C1〜C12アルキル又はC1〜C12アルコキシによって置換されているフェニル又はナフチルであるか;R5とR6とが一緒になって、場合によっては-O-又は-NR3-によって中断されている、及び/又は、場合によってはヒドロキシル、C1〜C4アルコキシ、C2〜C4アルカノイルオキシ又はベンゾイルオキシによって置換されているC2〜C6アルキレンであり;R7は、水素、C1〜C20アルキルであるか;ハロゲン、フェニル、-OH、-SH、-CN、C3〜C6アルケノキシ、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2(CO)O(C1〜C4アルキル)、-O(CO)-C1〜C4アルキル、-O(CO)-フェニル、-(CO)OH又は-(CO)O(C1〜C4アルキル)によって置換されているC2〜C8アルキルであるか;1個以上の-O-によって中断されているC2〜C12アルキルであるか;-(CH2CH2O)n+1H、-(CH2CH2O)n(CO)-C1〜C8アルキル、C3〜C12アルケニル、C3〜C8シクロアルキルであるか;場合によっては1個以上のハロゲン、-OH、C1〜C12アルキル、C1〜C12アルコキシ、フェノキシ、C1〜C12アルキルスルファニル、フェニルスルファニル、-N(C1〜C12アルキル)2又はジフェニルアミノによって置換されているフェニルである)の化合物と、(C)光重合性化合物とを含む、アルカリ現像可能な感光性組成物。

IPC (15)：

G03F 7/029 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08F290/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/038 501 ,  C07C251/66 ,  C07D209/14 ,  C07D295/08 ,  C07D307/52 ,  C07D317/58

FI (15)：

G03F 7/029 ,  C08F 2/44 A ,  C08F 2/46 ,  C08F290/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/038 501 ,  C07C251/66 ,  C07D209/14 ,  C07D295/08 ,  C07D307/52 ,  C07D317/58