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J-GLOBAL ID：200903052453473169

ダイヤモンド状炭素膜の作製方法

Inventor： 山崎 舜平 ,  林 茂則 ,  石田 典也 ,  佐々木 麻里 ,  竹山 順一
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体エネルギー研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001230363
Publication number (International publication number)：2002115061
Application date： Oct. 11, 1988
Publication date： Apr. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】 炭素を主成分とする膜を部材に密着させて形成する。【解決手段】 本発明は、部材である酸化物または有機樹脂上にダイヤモンド状炭素膜を保護膜として設けるものであって、そのダイヤモンド状炭素膜に親水性をもたせることで、特に光を透過する部材の水分による乱反射等を効果的に防ぐことができるものである。そして、親水性をもたせるために、ダイヤモンド状炭素膜に対して窒素を、好ましくは0.1〜10原子%の濃度で添加することを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

親水性を有するダイヤモンド状炭素膜を設けたことを特徴とする部材。

IPC (4)：

C23C 16/27 ,  B60J 1/00 ,  C01B 31/02 101 ,  C03C 17/245

FI (4)：

C23C 16/27 ,  B60J 1/00 G ,  C01B 31/02 101 Z ,  C03C 17/245 Z

F-Term (18)：

4G046GA01 ,  4G046GB02 ,  4G046GB07 ,  4G059AA01 ,  4G059AB19 ,  4G059AC11 ,  4G059AC16 ,  4G059AC21 ,  4G059EA11 ,  4G059EB02 ,  4K030AA04 ,  4K030AA09 ,  4K030AA13 ,  4K030BA28 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030JA08 ,  4K030LA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭63-210010
  
• 特開昭63-097961
  
• 特開昭63-219586
  
• 特開昭62-133068
  
• 特開昭61-030671