Pat
J-GLOBAL ID:200903052457975967

プローブ針のコーティング方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 亀谷 美明 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993123335
Publication number (International publication number):1994308160
Application date: Apr. 27, 1993
Publication date: Nov. 04, 1994
Summary:
【要約】【目的】 膜剥がれのないマスキング境界を高い精度で形成可能な真空蒸着法に適したプローブ針のコーティング方法を提供する。【構成】 本発明によれば、プローブ針の非コーティング部分を溶融した熱溶融性ワックスにて覆い、前記非コーティング部分を覆う前記熱溶融性ワックスを常温にて硬化し、前記プローブ針全体に真空蒸着によりコーティング施し、前記熱溶融性ワックスを再び加熱溶融し、前記プローブ針から前記熱溶融性ワックスを除去することによりプローブ針のコーティングが行われる。その結果マスキング境界においてコーティング部と非コーティング部が正確に区分けされたプローブ針を得ることができる。さらにコーティング処理が終了したプローブ針に対して洗浄処理を施すことにより残存ワックスを完全に除去できる。
Claim (excerpt):
プローブ針の非コーティング部分を溶融した熱溶融性ワックスにて覆い、前記非コーティング部分を覆う前記熱溶融性ワックスを常温にて硬化し、前記プローブ針全体に真空蒸着によりコーティングを施し、前記熱溶融性ワックスを再び加熱溶融し、前記プローブ針から前記熱溶融性ワックスを除去することを特徴とするプローブ針のコーティング方法。
IPC (2):
G01R 1/067 ,  H01L 21/66

Return to Previous Page