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J-GLOBAL ID：200903052468351272

自動ワイヤボンダ

Inventor： 板橋 一光
Applicant, Patent owner： 田中電子工業株式会社
Agent (1)： 早川 政名
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992262215
Publication number (International publication number)：1994112262
Application date： Sep. 30, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】放電電極からの放電をより安定性あるものとして、ボール形成時におけるボール径のばらつきが少ない自動ワイヤボンダを提供する。【構成】Os,Ru,Pt,Rh,Pdの中から1種または2種以上を総量10〜1000wtppm 含有せしめ、且つ、Ca,Be,Ge,Yの中から1種または2種以上を総量1〜100 wtppm 含有せしめ、残部IrからなるIr合金で放電電極1a及びそのヘッド部1bを形成した。

Claim (excerpt)：

ボンディング時におけるボール形成用の放電電極が、Os,Ru,Pt,Rh,Pdの中から1種または2種以上を総量10〜1000wtppm 含有し、残部IrからなるIr合金であることを特徴とする自動ワイヤボンダ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-256134
  
• 特開平2-010647
  
• 特開平2-094382