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J-GLOBAL ID：200903052474342986

テストヘツド着脱装置

Inventor： 菅原 文男 ,  伊藤 積男
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 村上 博 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991192598
Publication number (International publication number)：1993013535
Application date： Jul. 05, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 複数台のハンドラー使用時の装置全体の占めるスペースを小さくしかつ低コスト化を図る。【構成】 複数台配列したハンドラー1の台数に応じ延長可能でハンドラーの配列方向と並行に設置されたレール9と、このレール上を走行でき下部にテストヘッド保持具7を有するテストヘッド着脱部6を備え、上記テストヘッド保持具でテストヘッドの着脱を行わせ、さらに上記テストヘッド着脱部で自在に各方向へ調整することによりIC試験時の位置決めをさせるようにしたものである。【効果】 1組のレール支持台のスペースで複数台のハンドラーのテストヘッドの着脱に対応でき、装置全体の省スペース化及び低コスト化が図れる。

Claim (excerpt)：

ICを試験するICテストハンドラーが複数台配列され、この各ICテストハンドラーと接続するテスターのテストヘッドの着脱装置において、上記ハンドラーの配列方向と並列に配置された案内レールと、このレールに支持されて該レールを案内として走行ができ、かつテストヘッドを保持するとともに昇降もしくは移動してハンドラーよりテストヘッドを離合し得る着脱部を備えたことを特徴とするテストヘッド着脱装置。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26