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J-GLOBAL ID：200903052474778091
露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996257364
Publication number (International publication number)：1998083950
Application date： Sep. 09, 1996
Publication date： Mar. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 露光装置において、原版ステージの軽量化を図り、スループットや露光精度を向上させる。【解決手段】 原版のパターンの一部を投影光学系を介して基板に投影し、該投影光学系に対し相対的に前記原版と基板を共に走査することにより前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置において、原版を保持する原版ステージに対して該原版をアライメントするためのXYθ微動機構を原版ステージから分離して配置する。XYθ微動機構は原版交換位置において原版ステージおよびその駆動系等に設けられた貫通穴を通して昇降する原版突き上げピンを有し、原版を原版ステージ上から僅かに持ち上げた状態で前記原版の位置ずれ検出および位置ずれ補正動作を行なう。
Claim (excerpt)：
原版のパターンの一部を投影光学系を介して基板に投影し、該投影光学系に対し相対的に前記原版と基板を共に走査することにより前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置において、原版を保持する原版ステージと、該原版ステージ上の原版を露光領域外の所定の原版交換位置で交換する原版交換手段と、前記原版ステージ上の原版の該原版ステージに対する位置ずれを前記原版交換位置で検出する手段と、該原版交換位置で前記原版を該原版ステージに対し昇降する手段と、該昇降手段により持ち上げられた原版を該原版のパターン描画平面内と該平面に垂直な軸回りとに微動させる手段と、これらの昇降および微動手段により前記原版を前記原版ステージから持ち上げ、前記位置ずれに応じて微動し、かつ該原版ステージ上に戻すことにより該原版の該原版ステージに対する位置ずれを補正する制御手段とを具備することを特徴とする露光装置。
FI (3)：
H01L 21/30 518
, H01L 21/30 503 D
, H01L 21/30 515 F
