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J-GLOBAL ID：200903052481883291

位置合わせマークを有するインプリント・リソグラフィ・テンプレート

Inventor： ベイリー,トッド・シー ,  ジョンソン,スティーブン・シイ ,  コルバーン,マシュー・イー ,  チョイ,ビュン・ジェイ ,  スミス,ブライアン・ジェイ ,  エッカート,ジョン・ジイ ,  ウィルソン,カールトン・ジイ ,  スリニーヴァッサン,シトルガタ・ヴイ
Applicant, Patent owner： ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム
Agent (2)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2006527012
Publication number (International publication number)：2007506281
Application date： Sep. 16, 2004
Publication date： Mar. 15, 2007
Summary：

本発明の一実施形態は、インプリント・テンプレートのバルク材料に埋め込まれた位置合わせマークを備える、インプリント・リソグラフィのためのインプリント・テンプレートである。

Claim (excerpt)：

インプリント・テンプレートのバルク材料に埋め込まれた位置合わせマークを備える、インプリント・リソグラフィのためのインプリント・テンプレート。

IPC (1)：

H01L 21/027

FI (1)：

H01L21/30 502D

F-Term (4)：

5F046AA28 ,  5F046EA11 ,  5F046EA24 ,  5F046EB10