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J-GLOBAL ID：200903052516600077

干渉測長器

Inventor： 岡本 和也 ,  岩▲崎▼ 純
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992092831
Publication number (International publication number)：1993288509
Application date： Apr. 13, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高分解能を有し、かつ移動方向の弁別が可能な超小型の干渉測長器を提供する。【構成】 光源2と、光源2から出射した光が伝搬する光導波路51〜63と、前記光源からの出射光を測定光と参照光とに分割する分割手段40、41と、前記参照光を反射する反射手段3、4と、前記測定光を光導波路外で反射させた後再び光導波路内に導入して前記反射手段で反射した参照光と干渉させる干渉光学系45、46と、前記干渉によって生じた干渉光を測定する受光手段5、6と、を半導体からなる同一基板1上に集積させた。

Claim (excerpt)：

光源と、該光源から出射した光が伝搬する光導波路と、前記光源からの出射光を測定光と参照光とに分割する分割手段と、前記参照光を反射する反射手段と、前記測定光を光導波路外で反射させた後再び光導波路内に導入して前記反射手段で反射した参照光と干渉させる干渉光学系と、前記干渉によって生じた干渉光を測定する受光手段と、が半導体からなる同一基板上に集積されていることを特徴とする干渉測長器。