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J-GLOBAL ID：200903052563912567
角速度検出装置並びにその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993048229
Publication number (International publication number)：1994258333
Application date： Mar. 09, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：
【要約】【目的】 検出精度が高く、しかも環境温度や衝撃に対して非常に安定で製造が極めて容易な超小型角速度センサーを実用化する事を目的とする。【構成】 角速度センサーとしての音叉型水晶振動子及び検出用回路から構成され、前記音叉型水晶振動子は幅寸法と厚み寸法に一定の関係をもつ構造からなり又その電極は非対称な電極構造をもち、励振用電極と角速度検出用電極が共通で角速度信号が検出できるような信号検出回路で構成されている。【効果】 従来のフォトリソグラフィー技術による製造ラインがそのまま使え、又検出回路もC-MOS ICで実現でき、腕時計用音叉型水晶振動子程度の小型、高精度、低電力消費かつ安価な角速度センサーが実現できる。
Claim (excerpt)：
振動子を角速度センサーとして使用する角速度検出装置において、該角速度センサーとして音叉型振動子を用い、該音叉型振動子の発振回路、該発振信号の復調回路、濾波回路、検波回路、増幅回路、位相比較回路及び振幅比較回路を有することを特徴とする角速度検出装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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