平行検出分光楕円偏光計/偏光計

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：江崎光史 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001521964
Publication number (International publication number)：2003508772
Application date： Jul. 27, 2000
Publication date： Mar. 04, 2003
Summary：

【要約】平行検出分光楕円偏光計/偏光計センサ10は、可動部分を有することなくかつ処理室内でサンプル22の薄膜表面特性の随時モニタリングのためにリアルタイムに作動する。該センサは偏光子16を介してサンプルの表面に向けられたコリメートビーム14を形成するための多重スペクトル光源源12を有する。このようにコリメートされたビームはサンプル22の表面に当たりかつサンプル22の表面から反射され、それによってサンプル22の固有の材料特性のための偏光状態が変化する。サンプル22から反射された光は偏光フィルタを通った別々のビーム36,38,58,62に分離され、各ビームは個別の分光強度を有する。該4つの個別の分光強度についてのデータは、処理室内に集められ、1つ又はそれ以上の分光計に送られる。その後全部で4つの個別の分光強度のデータは変換アルゴリズムを使用してリアルタイムに分析される。

Claim (excerpt)：

サンプルの表面の特性をリアルタイムにモニタリングするための可動部分を有しない平行検出分光楕円偏光計/偏光計センサであって、材料配置室内又はその外方には以下のもの、即ち、サンプルの表面に向けられたコリメートされたビームを形成するための多重スペクトル光源と、偏光光学系であって、多重スペクトル光線のコリメートされたビームがサンプルの表面に当たりかつサンプルの表面から反射され、サンプルの表面でスペクトル光線の偏光状態がサンプルの表面の本来の特性のために変えられるようにするものと、サンプルの表面から反射したあるスペクトル光線を4つの別々の偏光フィルタをかけられたビームに分割する光学的手段と、個別のスペクトル強度を有する4つの別々のビームを形成するための該4つの別々に偏光フィルタをかけられるビームのための光学的フィルタ手段と、該4つの個別のスペクトル強度の全てについてのデータを収集する手段であって、該収集手段は材料配置室内に内蔵されているものと、該全部で4つの個別のスペクトル強度の全てのうちのあるデータを伝達する手段であって、該伝達手段は該データ収集手段と作用的に協働するものと、スペクトル強度特性デーダを受けるための1つ又はそれ以上の数の分光計と、リアルタイムにかつすべての波長から収集されたデータを集積することによりサンプルに特有の情報を形成することができる進んだ変換アルゴリズムを使用して、4つの個別のスペクトル強度についてのデータを分析する手段とを含む前記平行検出分光楕円偏光計/偏光計。

IPC (4)：

G01J 4/04 , G01N 21/21 , G01N 21/27 , G02B 5/30

FI (4)：

G01J 4/04 A , G01N 21/21 Z , G01N 21/27 B , G02B 5/30

F-Term (29)：

2G059AA01 , 2G059AA02 , 2G059BB16 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059EE12 , 2G059GG10 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ17 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059JJ22 , 2G059JJ26 , 2G059KK03 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM14 , 2G059PP04 , 2H049BA02 , 2H049BA03 , 2H049BA05 , 2H049BA07 , 2H049BB02 , 2H049BB03 , 2H049BC23

Return to Previous Page