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J-GLOBAL ID：200903052606636518
走査型荷電粒子線装置の調節方法並びに装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993302645
Publication number (International publication number)：1995153407
Application date： Dec. 02, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：
【要約】【目的】高い精度を保ちながら、従来よりも速い走査型荷電粒子線装置の非点収差調節方法並びに装置を提供することを目的とする。【構成】荷電粒子線の2次元の走査により、試料4から得られた情報信号から特定情報の情報信号を抽出し、(ステップ101,102,103)この抽出した情報信号と対応する試料4上の位置を求め、(ステップ104)この求めた位置を中心に前記荷電粒子線を走査し、(ステップ105,106)この走査により得られた情報信号を基に焦点調節と非点収差調節との少なくとも一方を行う。
Claim (excerpt)：
荷電粒子線を試料上で2次元に走査し、この走査により前記試料から得られる情報信号に基づいて、前記荷電粒子線の焦点調節と非点収差調節との少なくとも一方を行う走査型荷電粒子線装置の調節方法において、前記2次元の走査による前記情報信号から特定情報の情報信号を抽出し、前記抽出した情報信号に対応する試料上の位置を求め、前記求めた位置を中心に前記荷電粒子線を走査し、前記走査により得られた情報信号を基に焦点調節と非点収差調節との少なくとも一方を行うこと、を含むことを特徴とする走査型荷電粒子線装置の調節方法。
IPC (2)：
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