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J-GLOBAL ID：200903052610172895

スパッタリング用ターゲットの検査方法

Inventor： 末次 秀彦
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 深井 敏和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998304494
Publication number (International publication number)：2000129434
Application date： Oct. 26, 1998
Publication date： May. 09, 2000
Summary：

【要約】【課題】超音波を利用してターゲット内部のハンダ層の欠陥を正確に把握することができるスパッタリング用ターゲットの検査方法を提供することである。【解決手段】 導電性基台2上にハンダ層3を介してターゲット材4を接合してなるターゲット1における前記ハンダ層3の状況を超音波にて検査するにあたり、前記ハンダ層3の厚さを100μm以上とすることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

導電性基台上にハンダ層を介してターゲット材を接合してなるスパッタリング用ターゲットにおける前記ハンダ層の状況を超音波にて検査するにあたり、前記ハンダ層の厚さを100μm以上とすることを特徴とするスパッタリング用ターゲットの検査方法。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  G01N 29/10 501

FI (2)：

C23C 14/34 C ,  G01N 29/10 501

F-Term (6)：

2G047AA06 ,  2G047AB05 ,  2G047AB07 ,  2G047BC03 ,  2G047EA10 ,  4K029DC24