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J-GLOBAL ID：200903052621992169
ドライエツチングの終点検出装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991301327
Publication number (International publication number)：1993114586
Application date： Oct. 22, 1991
Publication date： May. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 同時に複数の波長の発光強度を計測して、エッチングに関与する発光のみを終点検出のために利用するようにする。かつ測定対象波長に対する制約を大幅に緩めて、反応ガスとエッチング対象の組み合わせを自由に選べるようにする。【構成】 処理室1内の低温プラズマの発光を窓ガラス2,レンズ3,ピンホール4,コリメートレンズ5を通して平行光にし平面回折格子6で回折させてマルチチャンネルディテクタ8で検出する。以上のことにより低温プラズマの発光光を分光してエッチング処理に関与する光強度を測定することで終点を検出する。
Claim (excerpt)：
多数の波長から構成される低温ガスプラズマ発光光を同時に各構成波長に分光する分光手段と、分光された光の照射位置と光の強度を検出する光検出手段とを有することを特徴とするドライエッチングの終点検出装置。
IPC (2)：
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