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J-GLOBAL ID：200903052644448865

軟X線発生装置及びこれを備えた露光装置及び軟X線の発生方法

Inventor： 神高 典明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999210615
Publication number (International publication number)：2001035688
Application date： Jul. 26, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】 軟X線を効率よく発生させる。【解決手段】 本発明の軟X線装置は、パルスレーザー光を照射する複数のレーザー光源と、前記パルスレーザー光を減圧された容器内の標的に集光することにより該標的を構成する材料をプラズマ化し、該プラズマから輻射される軟X線を利用する軟X線発生装置において、前記複数のレーザー光源の各々の光源は前記生成するプラズマの電子温度が約20eV〜100eVになる条件に制御され照射可能なものである。

Claim (excerpt)：

パルスレーザー光を照射する複数のレーザー光源と、前記パルスレーザー光を減圧された容器内の標的に集光することにより該標的を構成する材料をプラズマ化し、該プラズマから輻射される軟X線を利用する軟X線発生装置において、前記複数のレーザー光源の各々の光源は前記生成するプラズマの電子温度が約20eV〜100eVになる条件に制御され照射可能であることを特徴とする軟X線発生装置。

F-Term (7)：

4C092AA06 ,  4C092AA14 ,  4C092AB21 ,  4C092CC02 ,  4C092CD01 ,  4C092CD09 ,  4C092CE01