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J-GLOBAL ID：200903052665243155

ガルバノミラー

Inventor： 高橋 淳一 ,  堀口 浩幸 ,  尾崎 元美
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 柏木 明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991275845
Publication number (International publication number)：1993119280
Application date： Oct. 24, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ミラー部の傾斜角度を精度良くコントロールすることが可能で、そのミラー部の横すべりやエッジ部での破壊を防止することが可能なガルバノミラーを提供する。【構成】 両端をトーションバー8により支持されたミラー面10を有するミラー部9と、ミラー面10の裏面側と対向する位置の基板7上に設けられた電極部12a,12bとを備え、この電極部12a,12bとミラー面10の裏面との間で静電引力を作用させることによりミラー面10の傾斜角度を変化させるガルバノミラーにおいて、トーションバー8に歪ゲージR1〜R4を形成し、歪ゲージR1〜R4の抵抗値の変化を測定してミラー面10の傾斜角度θを制御するミラー面傾斜角度制御手段を設けた。

Claim (excerpt)：

両端をトーションバーにより支持されたミラー面を有するミラー部と、前記ミラー面の裏面側と対向する位置の基板上に設けられた電極部とを備え、この電極部と前記ミラー面の裏面との間で静電引力を作用させることにより前記ミラー面の傾斜角度を変化させるガルバノミラーにおいて、前記トーションバーに歪ゲージを形成し、前記歪ゲージの抵抗値の変化を測定して前記ミラー面の傾斜角度を制御するミラー面傾斜角度制御手段を設けたことを特徴とするガルバノミラー。