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J-GLOBAL ID：200903052676102235

半導体装置の製造方法

Inventor： 三谷 真一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ルネサステクノロジ
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002187437
Publication number (International publication number)：2004031753
Application date： Jun. 27, 2002
Publication date： Jan. 29, 2004
Summary：

【課題】MISデバイスの高信頼度化および微細化を実現する。【解決手段】ダミーゲート電極をマスクとしたエッチングにより半導体基板1に溝を形成し、この溝の内部にソース・ドレインを構成するシリコンゲルマニウム膜10,12を埋め込んだ後、半導体基板1上に堆積された絶縁膜13の表面を平坦化してダミーゲート電極の上面を露出させ、次いでダミーゲート電極およびダミーゲート絶縁膜を除去してゲート溝を形成する。その後、このゲート溝の内部にゲート絶縁膜(絶縁膜15)およびゲート電極(低抵抗金属膜16)を埋め込む。【選択図】 図6

Claim (excerpt)：

(a)半導体基板上にダミーゲート絶縁膜およびダミーゲート電極を形成した後、前記ダミーゲート電極をマスクとして前記ダミーゲート絶縁膜および前記半導体基板をエッチングし、前記半導体基板に溝を形成する工程と、 (b)前記溝の内部にソース・ドレインとして機能するシリコンゲルマニウム膜を形成する工程と、 (c)前記半導体基板上に絶縁膜を形成した後、前記絶縁膜の表面を平坦化して前記ダミーゲート電極の上面を露出させる工程と、 (d)前記ダミーゲート電極および前記ダミーゲート絶縁膜を除去してゲート溝を形成する工程と、 (e)前記ゲート溝の内部にゲート絶縁膜およびゲート電極を埋め込む工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。

IPC (7)：

H01L29/78 ,  H01L21/28 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/092 ,  H01L29/41 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49

FI (6)：

H01L29/78 301G ,  H01L21/28 301Z ,  H01L27/08 321D ,  H01L27/08 321E ,  H01L29/58 G ,  H01L29/44 L

F-Term (80)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB18 ,  4M104BB30 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD16 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD46 ,  4M104DD55 ,  4M104DD64 ,  4M104DD65 ,  4M104DD75 ,  4M104FF01 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH12 ,  4M104HH14 ,  4M104HH20 ,  5F048AA01 ,  5F048AA07 ,  5F048AC03 ,  5F048BA14 ,  5F048BB04 ,  5F048BB05 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BC01 ,  5F048BC05 ,  5F048BC15 ,  5F048BE03 ,  5F048BF11 ,  5F048BF16 ,  5F048BG14 ,  5F140AA10 ,  5F140AA13 ,  5F140AA39 ,  5F140AB03 ,  5F140BA01 ,  5F140BD07 ,  5F140BD11 ,  5F140BE03 ,  5F140BF01 ,  5F140BF05 ,  5F140BG02 ,  5F140BG03 ,  5F140BG04 ,  5F140BG05 ,  5F140BG27 ,  5F140BG28 ,  5F140BG36 ,  5F140BG40 ,  5F140BH05 ,  5F140BH07 ,  5F140BH27 ,  5F140BJ10 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ15 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK05 ,  5F140BK09 ,  5F140BK18 ,  5F140BK26 ,  5F140BK30 ,  5F140BK40 ,  5F140CA03 ,  5F140CB01 ,  5F140CB08 ,  5F140CE07