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J-GLOBAL ID：200903052676366453

インクジェット記録装置とその製造方法

Inventor： 神野 伊策 ,  高山 良一 ,  鎌田 健 ,  藤井 覚
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998161836
Publication number (International publication number)：1999348285
Application date： Jun. 10, 1998
Publication date： Dec. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 圧電素子を構成する圧電体や振動板等を薄膜化することで半導体プロセスで一般に用いられている微細加工を可能とし、高密度に形成された吐出口を有するインクジェットヘッドを実現する。【解決手段】 インク吐出口2と、インク吐出口に接続された圧力室1と、Pb、Ti及びZrを有する圧電膜5と圧電膜5の両側に設けられた電極6,7とを含んでなり圧力室1の一部に設けられた圧電振動部とを備え、圧電膜5を、それぞれペロブスカイト構造を有しかつ互いに接するように形成された第1層8と第2層9とを含んでなり、第1層8をZrを含まない層、又はZrの含有量が第2層9のZrの含有量に比較して少ない層とする。

Claim (excerpt)：

インク吐出口と、前記インク吐出口に接続された圧力室とを有する本体部と、鉛、チタン及びジルコニウムを有する圧電膜と前記圧電膜の両側に設けられた電極とを含んでなり前記圧力室の一部に設けられた圧電振動部とを備え、前記圧電振動部をたわみ振動させることによりインク吐出口からインクを吐き出させるインクジェットヘッド記録装置であって、前記圧電膜が、ストロンチウム又はバリウムを含むペロブスカイト構造を有する第1層と、前記第1層に接するように形成された鉛、チタン及びジルコニウムを有するペロブスカイト構造の第2層とを含んでいることを特徴とするインクジェットヘッド記録装置。

IPC (3)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H