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J-GLOBAL ID：200903052708449631
感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992009802
Publication number (International publication number)：1993197141
Application date： Jan. 23, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【構成】水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸,アジド基及び電解性官能基をもつモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポリマとして、水溶性高分子のポリビニルアルコールを用いる感光性組成物。【効果】感度を増すことができる。
Claim (excerpt)：
水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸,アジド基及び電解性官能基をもつモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポリマとして、水溶性高分子のポリビニルアルコールを用いることを特徴とする感光性組成物。
IPC (5)：
G03F 7/012 501
, G03F 7/031
, G03F 7/038 501
, H01J 31/20
, H01L 21/027
