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J-GLOBAL ID：200903052719783363

プローブ針、プローブカード、及びプローブカードの作製方法

Inventor：
三上 和成

About 三上 和成


Applicant, Patent owner：
山口日本電気株式会社

About 山口日本電気株式会社


Agent (1)： 稲垣 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000324031
Publication number (International publication number)：2002131334
Application date： Oct. 24, 2000
Publication date： May. 09, 2002
Summary：
【要約】【課題】 電極とのコンタクト回数が多くなっても、先端部を研磨することなくプローブ針と電極との接触抵抗値を上限値以下に維持できるような構成を備えたプローブ針及びプローブカードを提供する。【解決手段】 本プローブカードは、プローブ針本体を構成するタングステンで形成された金属体32の表面上に、順次、非酸化性金属膜の下地層として電気メッキ法によって形成されたニッケル(Ni)下地めっき層34と、非酸化性金属膜として設けられた白金族金属層、例えばロジウム(Rh)層36とを有するプローブ針30を備えている。本プローブカードは、プローブ針が上述の構成のプローブ針30であることを除いて、従来のプローブカードと同じ構成を備えている。
Claim (excerpt)：
被測定体の電極に接触させる先端部を有し、被測定体の電気的特性を測定するに当たり、先端部を被測定体の電極に接触させることにより被測定体を電気的特性の測定装置に電気的に接続するプローブ針であって、プローブ針が、プローブ針本体を構成する金属体上に、順次、ニッケル(Ni)下地めっき層と、非酸化性金属膜として設けられた、白金族のいずれかの金属からなる表面金属層とを有することを特徴とするプローブ針。
IPC (4)：
G01R 1/067 ,  C25D 7/00 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66
FI (4)：
G01R 1/067 J ,  C25D 7/00 G ,  G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B
F-Term (21)：
2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AB06 ,  2G011AC14 ,  2G011AC31 ,  2G011AF07 ,  4K024AA03 ,  4K024AA12 ,  4K024AB02 ,  4K024BA07 ,  4K024BA09 ,  4K024BB09 ,  4K024BC10 ,  4K024CB01 ,  4K024FA02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10 ,  4M106DD18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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