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J-GLOBAL ID：200903052721636785

抵抗型酸素センサの酸素分圧検出部分の製造方法

Inventor： 伊豆 典哉 ,  申 ウソク ,  松原 一郎 ,  村山 宣光 ,  山内 幸彦 ,  神崎 修三
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002373455
Publication number (International publication number)：2004203655
Application date： Dec. 25, 2002
Publication date： Jul. 22, 2004
Summary：

【課題】クラックの数が極めて少なく、酸素センサの酸素分圧検出部分として十分使用可能な、酸化物の多孔体厚膜を製造する方法を提供する。【解決手段】酸化セリウムを含む酸化物の微粒子の粉末を原料として、その酸化物を含むペーストを作製し、それをスクリーン印刷により基板上に印刷し、仮焼及び焼成することにより、抵抗型酸素センサの酸素分圧検出部分である多孔体厚膜を製造する方法であって、前記粉末の平均粒径を最終的に得られる厚膜の平均粒径未満の粒径に粒成長させるための熱処理工程と、粒成長させた粉末を溶媒と混合する工程と、凝集粒子を溶媒中で分散させる工程と、沈殿物を除去する工程と、溶媒を揮発させる工程と、有機バインダーを酸化物に混合してペーストとする工程とを含むことを特徴とする上記多孔体厚膜の製造方法。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

酸化セリウムを含む酸化物の微粒子の粉末を原料として、その酸化物を含むペーストを作製し、それをスクリーン印刷により基板上に印刷し、仮焼及び焼成することにより、抵抗型酸素センサの酸素分圧検出部分である多孔体厚膜を製造する方法であって、前記粉末の平均粒径を最終的に得られる厚膜の平均粒径未満の粒径に粒成長させるための熱処理工程と、粒成長させた粉末を溶媒と混合する工程と、凝集粒子を溶媒中で分散させる工程と、沈殿物を除去する工程と、溶媒を揮発させる工程と、有機バインダーを酸化物に混合してペーストとする工程とを含むことを特徴とする抵抗型酸素センサの酸素分圧検出部分である多孔体厚膜の製造方法。

IPC (2)：

C01F17/00 ,  G01N27/12

FI (4)：

C01F17/00 A ,  G01N27/12 A ,  G01N27/12 C ,  G01N27/12 M

F-Term (35)：

2G046AA07 ,  2G046BA01 ,  2G046BA08 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC03 ,  2G046BC05 ,  2G046BC09 ,  2G046BE04 ,  2G046DB05 ,  2G046DC14 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA18 ,  2G046FB02 ,  2G046FE03 ,  2G046FE13 ,  2G046FE14 ,  2G046FE31 ,  2G046FE37 ,  2G046FE44 ,  2G046FE49 ,  4G076AA02 ,  4G076AA18 ,  4G076AB02 ,  4G076AC08 ,  4G076BA38 ,  4G076BD02 ,  4G076BF10 ,  4G076CA01 ,  4G076CA02 ,  4G076CA10 ,  4G076CA12 ,  4G076DA30