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J-GLOBAL ID：200903052746067610

陽電子を利用した欠陥評価装置

Inventor：
上殿 明良

About 上殿 明良

, 
小椋 厚志

About 小椋 厚志


Applicant, Patent owner：
株式会社半導体理工学研究センター

About 株式会社半導体理工学研究センター


Agent (5)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  福本 積 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002251905
Publication number (International publication number)：2004093224
Application date： Aug. 29, 2002
Publication date： Mar. 25, 2004
Summary：
【課題】陽電子を利用する欠陥評価装置を小型化し、測定精度を改良し、そのメンテナンス頻度を減少させること。【解決手段】陽電子を発生する線源と前記陽電子を低速化するためのモデレーターを有する線源部と、前記線源部から試料保持部まで陽電子を輸送する輸送部と、被測定試料を保持する試料保持部と、前記被測定試料から放出されるγ線を検出する検出手段を具備する欠陥評価装置において、前記線源部内に後記保護手段がなければ前記線源を熱的に損傷する恐れがある位置に前記モデレーターを加熱する加熱手段を有し、かつ、前記加熱手段を用いて前記モデレーターを加熱する際に前記加熱手段及び加熱されている前記モデレーターから前記線源を保護する保護手段を有することを特徴とする欠陥評価装置。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
陽電子を発生する線源と前記陽電子を低速化するためのモデレーターを有する線源部と、前記線源部から試料保持部まで陽電子を輸送する輸送部と、被測定試料を保持する試料保持部と、前記被測定試料から放出されるγ線を検出する検出手段を具備する欠陥評価装置において、前記線源部内に後記保護手段がなければ前記線源を熱的に損傷する恐れがある位置に前記モデレーターを加熱する加熱手段を有し、かつ、前記加熱手段を用いて前記モデレーターを加熱する際に前記加熱手段及び加熱されている前記モデレーターから前記線源を保護する保護手段を有することを特徴とする欠陥評価装置。
IPC (4)：
G01N23/225 ,  G21K1/00 ,  G21K1/10 ,  G21K5/04
FI (5)：
G01N23/225 ,  G21K1/00 E ,  G21K1/00 R ,  G21K1/10 Z ,  G21K5/04 E
F-Term (12)：
2G001AA05 ,  2G001BA01 ,  2G001CA02 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001KA12 ,  2G001RA03 ,  2G001SA03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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