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J-GLOBAL ID：200903052770874608

蛍光X線分析装置

Inventor： 寺田 慎一
Applicant, Patent owner： 株式会社テクノス研究所
Agent (1)： 西教 圭一郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995023204
Publication number (International publication number)：1996220027
Application date： Feb. 10, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 X線単色化によるX線強度低下を可及的に抑制して、励起X線強度および測定精度の向上が可能な蛍光X線分析装置を提供する。【構成】 蛍光X線分析装置1は、X線発生器10と、X線発生器10から発生するX線を単色化する分光結晶13と、X線束4が試料2に入射して、試料2から発生する蛍光X線5を検出するX線検出器20と、前置増幅器21、比例増幅器22、波高分析器23およびデータ処理器24などで構成される。分光結晶13の結晶面は曲面状に湾曲しており、分光結晶13、X線発生器10のX線焦点Aおよび試料2の照射位置Bは、半径Rのローランド円RCの円周上にそれぞれ配置される。

Claim (excerpt)：

励起用のX線を発生するX線発生手段と、前記X線発生手段が発生するX線を単色化するためのX線回折手段と、前記X線回折手段で分離された単色X線を試料に照射して、試料から発生する蛍光X線を検出するためのX線検出手段とを備える蛍光X線分析装置において、前記X線回折手段は、結晶面が曲面状に湾曲した分光結晶であって、該分光結晶、X線発生手段のX線焦点および試料の照射位置がローランド円上にそれぞれ配置されていることを特徴とする蛍光X線分析装置。