Pat

J-GLOBAL ID：200903052779552069

感湿素子

Inventor： 岡本 健一 ,  喜多 英敏 ,  田中 一宏 ,  上田 政弘 ,  中村 和雅 ,  平野 徹治 ,  木内 政行
Applicant, Patent owner： 有限会社山口ティー・エル・オー ,  神栄株式会社 ,  宇部興産株式会社
Agent (3)： 角田 嘉宏 ,  古川 安航 ,  西谷 俊男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003380246
Publication number (International publication number)：2004170409
Application date： Nov. 10, 2003
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：

【課題】 耐熱性・耐水性の問題のない感湿素子を提供する。【解決手段】 支持基板上に形成された複数の電極と、該電極に接して形成されたセンサ膜としてのポリイミド膜を有する感湿素子であって、前記ポリイミド膜が、下記の一般式で表される構造単位を有する感湿素子である。ここで、Ar1は、少なくとも1つ以上の芳香環を有する4価の基を示し、D1は、O、CH2、C(CH3)2、C(CF3)2及びSから選択される基を表し、Xは水素原子、アルカリ金属、アンモニウム又は第4級アミンを表す。【化1】【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

支持基板上に形成された複数の電極と、該電極に接して形成されたセンサ膜としてのポリイミド膜を有する感湿素子であって、 前記ポリイミド膜が、下記の一般式(1)で表される構造単位を有するものであることを特徴とする感湿素子。

IPC (2)：

G01N27/12 ,  G01N27/04

FI (3)：

G01N27/12 K ,  G01N27/12 M ,  G01N27/04 B

F-Term (19)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BC03 ,  2G046DC13 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046FA01 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF07 ,  2G060AG10 ,  2G060BB10 ,  2G060HC06 ,  2G060HC18 ,  2G060HD03 ,  2G060JA02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開昭59-171844号公報
  
• 特開平2-253148号公報