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J-GLOBAL ID：200903052783261656
表面検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998087080
Publication number (International publication number)：1999281588
Application date： Mar. 31, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：
【要約】【課題】走行する被検査対象物の検査面に存在する欠陥を検出する際に、検査面の端部領域を含む幅方向の全域の欠陥の検出を確実に行なうことができる表面検査装置を提供する。【解決手段】被検査対象物51の検査面の幅方向における視野範囲Rbが検査面51の幅以上となるように設けられたCCDカメラ7と、検査面51に向けて光を照射する第1の光照射装置5と、CCDカメラ7の視野範囲に向けて検査面の逆側から光を照射する第2の光照射装置6と、CCDカメラ7による撮像データに所定の処理を施して検査面の欠陥を抽出する画像処理装置1とを有し、第1の光照射装置5とCCDカメラ7とは、検査面51aに直交する軸に関して対称となるように配置され、第2の光照射装置6は、光軸方向がCCDカメラ7の視野の中心軸方向に向くように配置されているものとした。
Claim (excerpt)：
長手方向に連続する平坦状の被検査対象物を走行させて、前記被検査対象物の検査面に存在する欠陥を検査する表面検査装置であって、前記被検査対象物の検査面に対向して設けられ、当該検査面の幅方向における視野範囲が前記検査面の幅よりも広い視野を有する撮像手段と、前記検査面に向けて光を照射する第1の光照射手段と、前記検査面の両端部の側方領域を通過する光を当該検査面の反対側から撮像手段の視野に向けて照射する第2の光照射手段と、前記撮像手段による撮像データのうち検査面の両端部を含む所定の領域のデータに所定の処理を施して前記検査面の欠陥を抽出する画像処理手段とを有する表面検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/89 A
, G01B 11/30 E
