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J-GLOBAL ID：200903052792486318

光熱信号検出方法及び装置

Inventor： 中田 俊彦 ,  二宮 隆典
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995082261
Publication number (International publication number)：1996278250
Application date： Apr. 07, 1995
Publication date： Oct. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は光熱信号検出装置に関し、単純構成にして、試料の2次元表面及び内部情報の高速検出を可能とする方法及びその装置を提供することにある。【構成】ストライプ状の励起ビーム101により、試料の複数の測定点を並列に同時に励起し、各点で生じた反射率変化を並列に同時に検出する構成201、202とすることにより、試料の複数測定点の光熱信号を並列に同時に検出することができ、上記目的が達成される。【効果】試料の複数測定点の光熱信号を並列に同時に検出することが可能となるため、試料の2次元表面及び内部情報の高速検出が可能になるという効果を有する。また、光熱効果に基づく熱拡散長が検査対象である内部界面の深さと同じか、もしくはそれを越える長さとなるように、励起ビームの強度変調周波数を設定することにより、内部界面の検査が可能になるという効果を有する。

Claim (excerpt)：

変更可として設定された周波数fEで強度変調した光を試料表面の複数の測定点に照射して、該複数の測定点の表面において上記周波数fEと同期した周期的な反射率変化を発生させ、該複数の測定点に他の光を照射してその反射光を、各測定点に対応した複数個の光電変換素子からなる検出器で検出し、該検出した反射光強度信号の中から、上記反射率変化に基づく上記強度変調周波数fEと同期した反射光強度変化を光熱信号として上記複数の測定点ごとに検出し、該光熱信号より試料の複数の測定点の表面及び内部情報を検出することを特徴とする光熱信号検出方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 光音響信号検出方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-340647   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭61-254834
  
• 特公平3-047703
  
• 特公平2-032578