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J-GLOBAL ID：200903052801501473

透明導電膜のシート抵抗値の調整方法及び透明導電膜の形成方法

Inventor： 神田 広行 ,  権平 英昭 ,  瀬田 康弘 ,  山田 茂男
Applicant, Patent owner： 日本曹達株式会社
Agent (1)： 大石 治仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999208947
Publication number (International publication number)：2001035273
Application date： Jul. 23, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】基板上に形成された透明導電膜のシート抵抗値を、簡易かつ効率よく、所望のシート抵抗値に調整する方法、及び所望の抵抗値を有し、高い可視光線透過率、かつ均一な膜質の導電膜を、簡易かつ歩留り良く形成する方法を提供する。【解決手段】基板上に、直接又はその他の膜を介して透明導電膜を形成する工程と、前記透明導電膜を、所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程を有する透明導電膜のシート抵抗値の調整方法、及び基板上に、直接又はその他の膜を介して透明導電膜を形成する工程と、前記透明導電膜を、所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程とを有する透明導電膜の形成方法。

Claim (excerpt)：

基板上に、直接又はその他の膜を介して透明導電膜を形成する工程と、前記透明導電膜を、所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程を有する、透明導電膜のシート抵抗値の調整方法。

F-Term (5)：

5G323BA02 ,  5G323BB03 ,  5G323BB04 ,  5G323BB05 ,  5G323BC03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭62-098506
  
• 特開平4-026768
  
• 透明導電膜の製造方法及びそれを用いた薄膜太陽電池
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-166973   Applicant：シャープ株式会社
• 紫外線、近赤外線遮へい用インジウム-錫酸化物粉末とこれを用いた紫外線、近赤外線遮へいガラスおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-145230   Applicant：住友金属鉱山株式会社, 東北化工株式会社
• 電子源及び画像形成装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-210305   Applicant：キヤノン株式会社