塗膜の形成方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小田島平吉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991037707
Publication number (International publication number)：1993034932
Application date： Feb. 08, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】[目的] 金属厚板の微細エツチング加工や、金属箔張積層板に微細な回路パタ-ンを形成するための、可視光レ-ザ-直描法に適した生産性の高いエツチングレジスト膜を得る。[構成] 可視光照射により架橋もしくは重合し得る感光性基とイオン性基とを含有する光硬化性樹脂及び光重合開始剤を含有する液状感光性組成物を塗装した塗装板を可視光レ-ザ-により露光し、現像した後、さらに可視光及び/又は紫外線露光してエツチングレジスト膜を形成することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

可視光照射により架橋もしくは重合し得る感光性基とイオン性基とを含有する光硬化性樹脂及び光重合開始剤を含有する液状感光性組成物を塗装した塗装板を可視光レ-ザ-により露光し、現像した後、さらに可視光及び/又は紫外線露光することを特徴とするエツチングレジスト膜の形成方法。

IPC (3)：

G03F 7/40 , C25D 13/06 , G03F 7/20 505

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平1-279251
特開昭62-288826
特開昭57-029316

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