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J-GLOBAL ID:200903052827189257

走査型光学顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000394934
Publication number (International publication number):2002196246
Application date: Dec. 26, 2000
Publication date: Jul. 12, 2002
Summary:
【要約】【課題】 軸外での性能劣化が少なく、波面変換素子の制御方法が簡単で、瞳リレー光学系の構成が簡単か不要な波面変換素子を用いた走査型光学顕微鏡【解決手段】 レーザー発振器6と、レーザー発振器6から発するレーザービーム15に任意の波面変換を与える波面変換素子5と、波面変換素子5から発する波面変換後の略平行なレーザービーム17を試料9に集光する対物レンズ7と、試料9から発する信号光を検出する検出器29と、対物レンズ7を光軸と直交する方向に走査するアクチュエーター8とを有するレーザー走査型顕微鏡。
Claim (excerpt):
光源と、該光源から発する照明光に任意の波面変換を与える波面変換素子と、該波面変換素子から発する波面変換後の照明光を試料に集光する対物レンズと、該試料から発する信号光を検出する検出器と、前記対物レンズを光軸と直交する方向に走査するアクチュエーターとを有することを特徴とする走査型光学顕微鏡。
IPC (3):
G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 27/09
FI (3):
G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 27/00 E
F-Term (5):
2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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