透明導電性フィルム

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：永井隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002270383
Publication number (International publication number)：2004111152
Application date： Sep. 17, 2002
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：

【課題】表面抵抗が低く、透明性、耐熱性およびガスバリア性に優れ、有機EL表示素子や液晶表示素子などの透明電極に好適な透明導電性フィルムを提供する。【解決手段】炭素数4〜29の脂肪族テトラカルボン酸二無水物またはその誘導体と炭素数2〜29の脂肪族および/または芳香族ジアミンを構成成分とし、低屈折性、高耐熱性、低熱膨張性などの特徴を合わせ持つ脂肪族ポリイミドからなる基板上に、少なくとも1層の酸化ケイ素および/または窒化ケイ素からなるガスバリア層と、酸化スズ、酸化インジウム、インジウム-スズ複合酸化物、酸化亜鉛などの金属酸化物からなる透明導電性薄膜とを基板温度200°C以上の条件でスパッタリングまたは蒸着することにより、表面抵抗が低く、透明性、耐熱性およびガスバリア性に優れた透明導電性フィルムを得る。

Claim (excerpt)：

下記の一般式Iで示される繰り返し単位を有する脂肪族ポリイミドからなる基板上に透明導電性薄膜が積層された透明導電性フィルム。

IPC (6)：

H01B5/14 , B32B9/00 , B32B27/34 , H05B33/02 , H05B33/14 , H05B33/28

FI (6)：

H01B5/14 A , B32B9/00 A , B32B27/34 , H05B33/02 , H05B33/14 A , H05B33/28

F-Term (33)：

2H090HB03X , 2H090HB04X , 2H090JB03 , 2H090JC07 , 2H090JD04 , 2H090JD18 , 2H090LA01 , 3K007AB05 , 3K007AB12 , 3K007AB14 , 3K007BA07 , 3K007CA06 , 3K007CB01 , 3K007DB03 , 4F100AA12C , 4F100AA20C , 4F100AK49A , 4F100AT00A , 4F100BA03 , 4F100BA07 , 4F100BA10C , 4F100GB41 , 4F100JD02C , 4F100JG01 , 4F100JG01B , 4F100JJ03 , 4F100JN01 , 4F100JN01B , 5G307FA02 , 5G307FB01 , 5G307FC06 , 5G307FC09 , 5G307FC10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

脂環式ポリイミド、その製造方法および用途
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-326332 Applicant：財団法人工業技術研究院
特開平3-143924
特開昭63-232205

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