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J-GLOBAL ID：200903052848527446

ウエハ搬送装置

Inventor： 伊藤 秀文 ,  伊藤 雅樹 ,  石川 勝彦 ,  田辺 義和
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994277330
Publication number (International publication number)：1996139155
Application date： Nov. 11, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 簡単な構造でウエハを非接触で保持して搬送するウエハ搬送装置を提供する。【構成】 ウエハ13の裏面13Aに対してガスを噴射してこのウエハ13を浮上させる複数の第1のノズル11と、ウエハ13の側面13Bに対してガスを噴射して浮上したウエハ13の位置ずれを防止する複数の第2のノズル12とを備えるように構成する。

Claim (excerpt)：

ウエハの裏面に対してガスを噴射してこのウエハを浮上させる複数のノズルを有する第1のガス供給手段と、前記ウエハの側面に対してガスを噴射して浮上したウエハの位置ずれを防止する複数のノズルを有する第2のガス供給手段とが設けられたハンド部を備えたことを特徴とするウエハ搬送装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B65G 47/91