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J-GLOBAL ID：200903052864047888

ATRマッピング方法

Inventor： 鈴木 康志 ,  土渕 毅
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997360674
Publication number (International publication number)：1999190694
Application date： Dec. 26, 1997
Publication date： Jul. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 複数の測定ポイント毎に試料(試料ステージ)を上下動させることなく試料とATRプリズムを密着させたままマッピング分析を行う。【解決手段】 試料13の表面に複数個の小さなATRプリズム11をXY方向に配置して密着させ、試料13(試料ステージ14)をカセグレン式対物鏡10(入射赤外光)に対してXY方向に移動させることにより、試料13上の複数ポイントで反射された赤外光を測定する。複数個のATRプリズム11の一個一個は、上部が半球状で下部は少し曲率を持たせた形状であり、これを樹脂などのプリズム枠15で囲んで形成される。このようなATRプリズム11の複数個がプリズムホルダ12にて保持され、試料13の表面上に密着配置される。

Claim (excerpt)：

試料よりも大きい屈折率を有するATRプリズムを試料表面に密着させ、ATRプリズムに対し臨界角以上の入射角で赤外光を入射し、プリズムと試料の境界で全反射された赤外光を測定して試料の分析をする方法において、試料表面に複数個のATRプリズムを縦横に密着配置し、試料と入射赤外光を相対的に移動させることにより、試料表面の複数ポイントで反射された赤外光を測定してマッピング分析を行うことを特徴とするATRマッピング方法。