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J-GLOBAL ID：200903052875727040

ガラス基板の化学メッキ方法

Inventor： 谷口 靖
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996097358
Publication number (International publication number)：1997263950
Application date： Mar. 28, 1996
Publication date： Oct. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ガラス基板上に高精細な電極・配線パターンを高精度に形成することが可能な化学メッキ方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板上にフッ素系シランカップリング剤を所望のパターンで形成し、このシランカップリング剤の表面にアミノ基を導入し、更に表面活性化処理を施した後に化学メッキする。【効果】 カップリング剤表面のアミノ基の導入パターンを反映した高精細/高精度な電極・配線パターンを形成することができる。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上にフッ素系シランカップリング剤を所望のパターンで形成し、該シランカップリング剤の表面にアミノ基を導入し、引き続き表面活性化処理を施した後に化学メッキすることを特徴とするガラス基板の化学メッキ方法。