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J-GLOBAL ID：200903052884901265

検査装置

Inventor：
浅川 仁

About 浅川 仁

, 
秋山 収司

About 秋山 収司


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 小原 肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003138791
Publication number (International publication number)：2004287368
Application date： May. 16, 2003
Publication date： Oct. 14, 2004
Summary：
【課題】従来の点灯検査用の検査装置の場合には、LCDパネルの点灯検査を自動化することができるが、バックライトを用いてLCD基板を照射する際に、バックライトによる照明ムラが生じるため、照明ムラによる明暗がLCDパネルの表示画像にできる僅かな表示欠陥に影響して表示欠陥を正確に検出することが難しい。【解決手段】本発明のLCDパネルの検査装置10は、LCD基板Sを照明する光源を内蔵する、移動可能な載置台13と、LCDパネルS1の電極に接触するプローブカード15と、点灯検査用の信号を発生するパターンジェネレータ25と、LCDパネルS1に信号を印加した時にLCDパネルS1を撮像するCCDカメラ16とを備え、上記光源として多数の白色LED18を上記載置台13内全体に均等に分散させて配置すると共に、白色LED18とLCD基板Sの載置面との間に拡散板19を設けたものである。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
LCDパネルが形成された基板を載置する載置台と、この載置台上のLCDパネルを照明する多数の点光源からなる光源と、この光源からの照明光を拡散させる拡散板と、この拡散板を介して照明された上記LCDパネルに点灯検査用の信号を印加するプローブカードと、このプローブカードに送る点灯検査用の信号を発生する信号発生器と、この信号発生器から上記LCDパネルに上記信号を印加した状態で上記LCDパネルを撮像する撮像手段とを備えたことを特徴とする検査装置。
IPC (5)：
G02F1/13 ,  F21S2/00 ,  G01M11/00 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/13357
FI (5)：
G02F1/13 101 ,  G01M11/00 T ,  G02F1/1335 ,  G02F1/13357 ,  F21S1/00 E
F-Term (25)：
2G086EE01 ,  2G086EE10 ,  2H088FA11 ,  2H088FA12 ,  2H088FA13 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088HA06 ,  2H088HA07 ,  2H088HA18 ,  2H088HA21 ,  2H088HA28 ,  2H088MA20 ,  2H091FA08X ,  2H091FA08Z ,  2H091FA31Z ,  2H091FA41Z ,  2H091FA45Z ,  2H091GA01 ,  2H091GA02 ,  2H091GA11 ,  2H091GA12 ,  2H091LA30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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