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J-GLOBAL ID：200903052891536017

X線透過検査装置

Inventor： 徳谷 照義
Applicant, Patent owner： オーエヌ電子株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999169438
Publication number (International publication number)：2000356606
Application date： Jun. 16, 1999
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 比較的小型で安価にX線の透過像を得ることができるようなX線透過検査装置を提供する。【解決手段】 XYテーブル1上でθテーブル5が±180度回転可能に構成し、その上に検査すべき基板2を載置し、フレーム7をこの検査面を中心として所定の角度で回動させて、フレーム7の一端に取付けたX線源3から基板2にX線を照射し、その透過像をカメラ4で撮影し、基板2の良否を検査する。

Claim (excerpt)：

X線を透過して基板を検査するX線透過検査装置であって、前記基板を回転するための回転テーブル、およびその一方端に前記基板に前記X線を照射するためのX線源が取付けられ、その他方端に前記基板を透過したX線に基づく像を撮影するためのカメラが取付けられ、前記基板の検査面を中心として所定の角度で回動可能なフレームを備えた、X線透過検査装置。

IPC (2)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512

FI (2)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 B

F-Term (18)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001PA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  5E319CC22 ,  5E319CD53