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J-GLOBAL ID：200903052894875874

複合酸化物超電導薄膜の成膜方法

Inventor： 永石 竜起 ,  中西 秀典 ,  田中 三郎 ,  糸▲崎▼ 秀夫
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 越場 隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991211503
Publication number (International publication number)：1993032492
Application date： Jul. 29, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 レーザ蒸着法により、膜特性の優れた複合酸化物超電導薄膜を成膜する方法を提供する。【構成】 レーザビームのスポット径よりも径の小さなターゲットを使用して、ターゲット全体にレーザビームを照射しながらレーザ蒸着を行う。

Claim (excerpt)：

レーザ蒸着法により酸化物超電導薄膜を成膜する方法において、照射されるレーザビームのスポット径よりも小さい寸法のターゲットを使用し、ターゲットの全面にレーザビームを照射して成膜処理を行うことを特徴とする複合酸化物超電導薄膜の成膜方法。

IPC (6)：

C30B 29/22 501 ,  C23C 14/28 ,  H01B 13/00 565 ,  H01L 39/24 ZAA ,  H01B 12/06 ZAA ,  H01L 21/268