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J-GLOBAL ID：200903052907510935
温度調整装置およびその方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992100943
Publication number (International publication number)：1993299379
Application date： Apr. 21, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 冷媒供給の速度を早くして冷媒圧力が所定の設定値まで達するまでの時間を短縮すると共に、オーバーシュートの発生を防止する。【構成】 プラズマ処理装置1の真空容器2内にはウェハ9を支持する支持台7が設けられ、シール材8により空間7aが形成されている。支持台7と電極6との間に高周波電圧を印可してプラズマを生成し、このプラズマによりウェハ9を加工する。温度調整装置15は、冷媒供給配管16と、制御バルブ17と、冷媒配管18と、圧力計20と、制御部22とおよび冷媒放出管26とからなる。制御部22は圧力計20によって検出した圧力とあらかじめ設定した設定温度に対応した圧力とを比較して制御バルブ17の開閉量を制御する。そして、制御バルブ17と圧力計20との間の冷媒配管18に流量制限バルブ31と流路開閉バルブ32を備えたリーク配管30を配設している。
Claim (excerpt)：
対象物とこの対象物を支持する支持台との間に冷媒を供給し、冷媒の供給圧力を可変制御することによって対象物から支持台への伝熱量を変化させて対象物の温度制御を行う温度調整装置において、冷媒を供給する冷媒供給源と、この冷媒供給源からの冷媒供給量を制御する制御バルブと、この制御バルブと対象物との間に設置されて冷媒の供給圧力を検出する圧力検出手段と、この圧力検出手段によって検出した圧力と設定温度に対応した圧力とを比較して前記制御バルブの開閉量を制御する制御部と、前記制御バルブと圧力検出手段との間に配設されたリーク配管とからなることを特徴とする温度調整装置。
IPC (3)：
H01L 21/302
, C23F 4/00
, C30B 25/16
