感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三好秀和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000224733
Publication number (International publication number)：2002040645
Application date： Jul. 26, 2000
Publication date： Feb. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】感度、解像度、耐スカム発生性及び耐めっき性が優れ、プリント配線の高密度化に有用な感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法並びにプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B1)下記一般式(I)で表される光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性エレメント、この感光性エレメントを、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層し、活性光線を画像状に照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを特徴とするレジストパターンの製造法並びにこのレジストパターンの製造法により、レジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造法。【化1】(式中、複数個のXは各々独立に炭素数2〜6のアルキレン基を示し、3個のjは各々独立に1〜30の整数である)

Claim (excerpt)：

(A)バインダーポリマー、(B1)一般式(I)【化1】(式中、複数個のXは各々独立に炭素数2〜6のアルキレン基を示し、3個のjは各々独立に1〜30の整数である)で表される光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (14)：

G03F 7/027 502 , C08F 2/44 , C08F 2/46 , C08F 20/28 , C08F220/30 , C08F289/00 , C08F290/04 , C08F299/02 , G03F 7/004 512 , G03F 7/031 , G03F 7/032 , H05K 3/06 , H05K 3/18 , G03F 7/40 521

FI (14)：

G03F 7/027 502 , C08F 2/44 C , C08F 2/46 , C08F 20/28 , C08F220/30 , C08F289/00 , C08F290/04 , C08F299/02 , G03F 7/004 512 , G03F 7/031 , G03F 7/032 , H05K 3/06 J , H05K 3/18 D , G03F 7/40 521

F-Term (176)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC42 , 2H025CA28 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA39 , 2H025FA40 , 2H025FA43 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA17 , 2H096HA27 , 2H096JA04 , 4J011PA65 , 4J011PA67 , 4J011PA69 , 4J011PA70 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA03 , 4J011QA08 , 4J011QA12 , 4J011QA22 , 4J011QA32 , 4J011QA33 , 4J011QA34 , 4J011QA35 , 4J011QA38 , 4J011QA43 , 4J011QA46 , 4J011QB16 , 4J011RA03 , 4J011RA04 , 4J011RA10 , 4J011SA03 , 4J011SA05 , 4J011SA06 , 4J011SA14 , 4J011SA15 , 4J011SA20 , 4J011SA22 , 4J011SA24 , 4J011SA25 , 4J011SA28 , 4J011SA32 , 4J011SA34 , 4J011SA38 , 4J011SA54 , 4J011SA58 , 4J011SA63 , 4J011SA74 , 4J011SA75 , 4J011SA78 , 4J011SA82 , 4J011UA01 , 4J011UA06 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J026AA17 , 4J026AA19 , 4J026AA31 , 4J026AA43 , 4J026AA45 , 4J026AA47 , 4J026AA48 , 4J026AA49 , 4J026AA50 , 4J026AA53 , 4J026AA54 , 4J026AA55 , 4J026AC09 , 4J026AC18 , 4J026AC23 , 4J026AC33 , 4J026AC36 , 4J026BA27 , 4J026BA28 , 4J026BA29 , 4J026BA30 , 4J026BA50 , 4J026BB01 , 4J026BB03 , 4J026BB04 , 4J026DB06 , 4J026DB36 , 4J026GA06 , 4J027AC02 , 4J027AC03 , 4J027AC04 , 4J027AC06 , 4J027AJ02 , 4J027AJ08 , 4J027AJ09 , 4J027BA04 , 4J027BA07 , 4J027BA13 , 4J027BA19 , 4J027BA24 , 4J027CA02 , 4J027CA03 , 4J027CA10 , 4J027CA34 , 4J027CA36 , 4J027CB10 , 4J027CC04 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 4J100AL08S , 4J100AL66Q , 4J100AL66R , 4J100AL67P , 4J100AL74S , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA02R , 4J100BA02S , 4J100BA03T , 4J100BA04T , 4J100BA05T , 4J100BA06T , 4J100BA08P , 4J100BA08Q , 4J100BA08R , 4J100BA08S , 4J100BA14T , 4J100BA16T , 4J100BA29S , 4J100BA30S , 4J100BA40S , 4J100BA41S , 4J100BA52S , 4J100BA53T , 4J100BB01T , 4J100BB03T , 4J100BB05S , 4J100BB07S , 4J100BC02S , 4J100BC43Q , 4J100BC43S , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA38 , 5E339AC01 , 5E339AD05 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE16 , 5E339CF15 , 5E339CG04 , 5E339DD02 , 5E339DD04 , 5E343AA15 , 5E343AA17 , 5E343BB24 , 5E343BB67 , 5E343CC63 , 5E343DD32 , 5E343DD76 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-132363 Applicant：日立化成工業株式会社
感光性樹脂組成物、感光性エレメント及びプラズマディスプレイの背面板の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-218640 Applicant：日立化成工業株式会社
感光性組成物および清浄に稼動する感光性樹脂印刷版
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平8-519150 Applicant：マクダーミツドイメージングテクノロジー,インコーポレーテツド

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