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J-GLOBAL ID：200903052916604551

研磨時の薄板状ワーク破損防止方法

Inventor： 大川 真司 ,  阿部 耕三 ,  一 啓文 ,  石川 俊文 ,  佐藤 丈夫 ,  青木 利森
Applicant, Patent owner： 株式会社スーパーシリコン研究所 ,  浜井産業株式会社
Agent (1)： 小倉 亘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998056882
Publication number (International publication number)：1999254311
Application date： Mar. 09, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 異常が発生した場合でも研磨を中断することなく、所定の研磨量で研磨加工を完了させる。【解決手段】 上下の定盤の間にワークを挟み、回転する定盤を介してワークを加圧しながらワークを両面研磨するとき、定盤に回転動力を伝達するモータに供給される電力,上定盤の変位,加工中に発生する加工音の何れか一つ又は複数を検出する。検出値に閾値を超える異常が発生したとき、ワークに加えている加工圧力及び/又は定盤の回転数を所定期間tだけ下げ、異常がなくなった時点で加工圧力及び/又は定盤の回転数を定常状態に復帰させる。所定期間tにおける研磨量の減少分に相当する分Δtだけ定常状態の研磨を延長する。

Claim (excerpt)：

上下の定盤の間にワークを挟み、回転する定盤を介してワークを加圧しながらワークを両面研磨するとき、定盤に回転動力を伝達するモータに供給される電力,上定盤の変位,加工中に発生する加工音の何れか一つ又は複数を検出し、検出値に閾値を超える異常が発生したとき、ワークに加えている加工圧力及び/又は定盤の回転数を所定期間だけ下げ、異常がなくなった時点で加工圧力及び/又は定盤の回転数を定常状態に復帰させ、加工圧力及び/又は定盤の回転数を下げた期間における研磨量の減少分に相当する分だけ定常状態の研磨を延長することを特徴とする研磨時の薄板状ワーク破損防止方法。

IPC (4)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622

FI (4)：

B24B 37/04 F ,  B24B 37/00 B ,  H01L 21/304 621 A ,  H01L 21/304 622 R