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J-GLOBAL ID：200903052956795597

光ディスク用スタンパの製造方法

Inventor： 佐藤 和洋 ,  宮島 慎 ,  浅沼 豊人 ,  鈴木 哲也
Applicant, Patent owner： 日本ビクター株式会社
Agent (1)： 浅井 章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995292108
Publication number (International publication number)：1997115190
Application date： Oct. 13, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 トラッキング用のグルーブを有する除去が容易な補助薄膜を形成するステップを組み込むことにより容易に製造することができる光ディスク用スタンパの製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上に形成した相変化膜4にレーザ光L1により情報の熱記録を行ない、これをエッチングすることにより相変化部と相未変化部とのエッチングレートの差を利用して前記基板表面に信号凹凸を形成するようにした光ディスク用スタンパの製造方法において、前記相変化膜を形成するに先立って、前記基板上に前記相変化膜とは異なる材料であって容易にエッチングで除去できる材料からなる補助薄膜層2を形成すると共にこの補助薄膜層にトラッキング用のグルーブ3を形成し、その後、この補助薄膜層上に前記相変化膜を形成する。これにより、従来用いた高精度の記録機を用いることなくスタンパを形成する。

Claim (excerpt)：

基板上に形成した相変化膜にレーザ光により情報の熱記録を行ない、これをエッチングすることにより相変化部と相未変化部とのエッチングレートの差を利用して前記基板表面に信号凹凸を形成するようにした光ディスク用スタンパの製造方法において、前記相変化膜を形成するに先立って、前記基板上に前記相変化膜とは異なる材料であって容易にエッチングで除去できる材料からなる補助薄膜層を形成すると共にこの補助薄膜層にトラッキング用のグルーブを形成し、その後、この補助薄膜層上に前記相変化膜を形成するように構成したことを特徴とする光ディスク用スタンパの製造方法。

IPC (4)：

G11B 7/26 511 ,  B29C 33/38 ,  C23C 14/34 ,  C23F 4/00

FI (4)：

G11B 7/26 511 ,  B29C 33/38 ,  C23C 14/34 N ,  C23F 4/00 A