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J-GLOBAL ID：200903052964730658

回転カソードターゲットの製造方法

Inventor： 木田 音次郎 ,  林 篤
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991339989
Publication number (International publication number)：1993156431
Application date： Nov. 29, 1991
Publication date： Jun. 22, 1993
Summary：

【要約】【構成】円筒状ターゲットホルダー表面に、このホルダーとターゲット材料(ITO等)の中間の熱膨張係数を有するアンダーコートを形成し、次いで、このホルダーの外表面周囲にターゲット材料の粉末または成形体を配置し、熱間等方圧プレスにより、ターゲット材料の焼結およびホルダーとの接合を行う。【効果】高密度で、ターゲットホルダーとの接合工程が不要な原料歩留りの高い回転カソードターゲットを提供できる。

Claim (excerpt)：

円筒状ターゲットホルダーの外表面周囲にターゲット材料の粉末または成形体を配置し、熱間等方圧プレスにより、ターゲット材料を焼結するとともにターゲットホルダーと接合させてターゲットを形成することを特徴とする回転カソードターゲットの製造方法。