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J-GLOBAL ID：200903052975023210

圧電センサの製造方法及び圧電センサ

Inventor： 浅野 勝吾 ,  中野 泰之 ,  馬場 啓之 ,  福田 徹
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 有我 軍一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999217750
Publication number (International publication number)：2001041969
Application date： Jul. 30, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 検出素子の製造を容易化するとともに、構造が簡素で、検出方向以外の加速度の影響を受け難い高感度の圧電センサを提供する。【解決手段】 板厚直交方向に分極処理された板状の圧電体11と、圧電体11の一面側に形成された第1の検出電極12と、圧電体12の側面に位置する側面接続部13a,13b及び圧電体11の両面に位置する電極面部13c,13d,13eを有し圧電体11の一面側で第1の検出電極12との間に圧電体11を露出させる第2の検出電極13と、を有するユニモルフ構造の検出素子10を備えるように構成する。

Claim (excerpt)：

板厚方向と直交する板厚直交方向に分極処理された板状の圧電体と、前記圧電体の一面側に形成された第1の検出電極と、前記圧電体の側面に位置する側面接続部及び前記圧電体の両面に位置する電極面部を有し前記圧電体の一面側で前記第1の検出電極との間に前記圧電体を露出させる第2の検出電極と、を有するユニモルフ構造の検出素子を備えたことを特徴とする圧電センサ。

IPC (3)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (3)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z