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J-GLOBAL ID：200903053008155382

静電型偏向器および静電型偏向器を備えた荷電粒子ビーム装置

Inventor：
坂口 清志

About 坂口 清志


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003177946
Publication number (International publication number)：2005019001
Application date： Jun. 23, 2003
Publication date： Jan. 20, 2005
Summary：
【課題】静電偏向電源に乗っているノイズ成分によるイオンビームへの影響を軽減して、性能のよい荷電粒子ビーム装置およびFIB装置を提供すること。【解決手段】静電偏向器を多段に分割して、走査倍率に応じて印加する静電偏向器の実効の面積を切換えることによって、偏向感度(偏向の変移距離/偏向電圧)を変えて、ノイズ成分による影響を軽減する。【選択図】 図8
Claim (excerpt)：
荷電粒子ビームを発生し取り出す荷電粒子源と、発生し取り出した荷電粒子ビームにエネルギーを与える加速手段と、加速された荷電粒子ビームを集束して試料上に照射するレンズと、荷電粒子ビームを前記試料上で走査するための機能と軸合わせのための機能とを兼ね備えた静電偏向器とを備える荷電粒子ビーム装置において、 (1)前記静電偏向器は、荷電粒子ビームの軸に沿って上段と下段の2段の静電偏向器からなり、これら上段静電偏向器と下段静電偏向器とはそれぞれ荷電粒子ビームの軸に沿って、更に複数段に分割され、 (2)前記上段静電偏向器のうちの少なくとも1段と前記下段静電偏向器のうちの少なくとも1段とを選択する選択手段と、 (3)前記選択のための基準値と選択された上段静電偏向器に関する第1の係数と第2の係数と選択された下段静電偏向器に関する第3と第4の係数を記憶する記憶手段と、 (4)前記選択基準値と前記第1と第2の係数と前記第3と第4の係数とを用いて、選択された各静電偏向器に印加する電圧値を算出する演算手段と、(5)前記算出された電圧値に基づいて各静電偏向器に印加する電圧を発生する電源手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
IPC (2)：
H01J37/147 ,  H01J37/317
FI (2)：
H01J37/147 D ,  H01J37/317 D
F-Term (1)：
5C034DD04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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