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J-GLOBAL ID：200903053035199456

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 小林 英一 ,  王 勇 ,  千葉 隆
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998229632
Publication number (International publication number)：2000066383
Application date： Aug. 14, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】 遠紫外線を含む各種の放射線に対して、感度、解像性能およびパターン形状に優れ、十分な耐熱性を有し、しかも塩基性基板上でも裾引きを生じることのない等の特性を有する感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)ヒドロキシスチレン類とt-ブトキシスチレン類および/またはアセトキシスチレン類との共重合体で代表される樹脂、並びに(B)ビス(1,4-ジオキサスピロ [4.5] デカン-7-スルホニル)ジアゾメタン、ビス(3,3-ジメチル-1,5-ジオキサスピロ [5.5] ドデカン-8-スルホニル)ジアゾメタン、〔(3-メチル-3-メトキシカルボニルビシクロ [2.2.1] ヘプタン)スルホニル・シクロヘキサンスルホニル〕ジアゾメタン等で代表されるジアゾジスルホン化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有する樹脂、並びに(B)下記式(3)で表されるジアゾジスルホン化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、R3 は水素原子またはメチル基を示し、R4 はt-ブチル基またはアセチル基を示し、R5 は水素原子またはメチル基を示す。〕【化3】〔式(3)において、R6 およびR7 は相互に独立に1価の有機基を示し、かつR6 およびR7 の少なくとも一方が下記式(4)または式(5)で表される基である。【化4】{式中、R8 〜R11は相互に独立に水素原子、水酸基、シアノ基、カルボキシル基、直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシル基、または-COOR12(但し、R12は直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示す。)を示し、nは0〜2の整数である。}【化5】{式中、R13〜R20は相互に独立に水素原子、直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、直鎖状もしくは分岐状のアルコキシル基、または直鎖状もしくは分岐状のヒドロキシアルキル基を示し、R21およびR22は相互に独立に直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示すか、あるいはR21とR22が相互に結合して式中の炭素原子および酸素原子と共に複素環構造を形成している2価の有機基を示す。}〕

IPC (3)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (15)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB52