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J-GLOBAL ID：200903053044604231
磁気ヘッドの研磨方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
村井 隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997180475
Publication number (International publication number)：1999016124
Application date： Jun. 21, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：
【要約】【課題】 研磨用定盤の研磨面を基準として被研磨物の姿勢を制御可能として、被研磨物の平面度の向上、ひいては被研磨物に形成されている多数の磁気ヘッドのスロートハイトのばらつきの低減を図る。【解決手段】 薄膜磁気ヘッドが複数配列されてなる被研磨物を保持した横長治具70を研磨ヘッド10に取り付け、回転駆動される研磨用定盤の研磨面2aに、前記研磨ヘッド10を動かしながら前記被研磨物を接触させて研磨する場合において、前記研磨用定盤の研磨面2aに対接するアジャストリング20で前記研磨ヘッド10の姿勢を制御する構成となっている。
Claim (excerpt)：
磁気ヘッドが複数配列されてなる被研磨物を保持した治具を研磨ヘッドに取り付け、回転駆動される研磨用定盤の研磨面に、前記研磨ヘッドを動かしながら前記被研磨物を接触させて研磨する磁気ヘッドの研磨方法において、前記研磨用定盤の研磨面に対接するアジャストリングで前記研磨ヘッドの姿勢を制御したことを特徴とする磁気ヘッドの研磨方法。
IPC (3)：
G11B 5/31
, G11B 5/127
, G11B 5/187
G11B 5/31 M
, G11B 5/127 Q
, G11B 5/187 Q
