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J-GLOBAL ID：200903053045638415
ウエハ位置決め装置およびウエハ供給装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993319416
Publication number (International publication number)：1995176599
Application date： Dec. 20, 1993
Publication date： Jul. 14, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ウエハの受け渡しとオリフラ合わせとを確実、簡易かつ高精度に行うことができる装置を提供することを目的とする。【構成】 このウエハ位置決め装置は、基台24に回転方向および上下方向に駆動される保持体37を有する。この保持体37の上面にはウエハ1を保持したア-ム51と、上記基台24に固定されかつ上記ア-ム51からウエハが受け渡される保持テ-ブル26と、上記保持テ-ブル26に受け渡されるウエハ1の中心を保持テ-ブル26の回転中心に一致させる第1の治具48と、ウエハ1に形成されたオリフラ2を検知するセンサ17と、このセンサ7によって検知されたオリフラを機械的に位置決めする第2の治具60とが設けられている。
Claim (excerpt)：
基台と、この基台に設けられた保持体と、同じく上記基台に上記保持体とは独立に設けられ、この保持台の上側に位置すると共に上面にウエハを保持可能な保持テ-ブルと、上記保持体に設けられ、上記保持テ-ブルの中心を通る方向に往復移動するア-ムと、上記保持テ-ブルの上方に設けられ、上記保持テ-ブルの中心を中心に形成された円弧面を有し、上記ア-ムに保持されたウエハをこの円弧面に当接させることで、このウエハの中心を上記保持テ-ブルの中心に一致させる第1の位置決め治具と、上記保持体と保持テ-ブルとを相対的に上下駆動し、上記ア-ムと保持テ-ブルとで上記ウエハの受け渡しを行なわせる上下駆動手段と、上記保持体と保持テ-ブルとを相対的に回転駆動する回転駆動手段と、上記保持体に設けられ、この保持体をウエハを保持した保持テ-ブルに対して相対的に回動させることで、上記保持テ-ブル上に保持されたウエハのオリフラを検知するセンサと、上記ウエハのオリフラに当接することで、このオリフラを機械的に位置決めする第2の位置決め治具とを具備することを特徴とするウエハ位置決め装置。
IPC (3)：
H01L 21/68
, G03F 9/00
, H01L 21/027
H01L 21/30 503 Z
, H01L 21/30 520 A
