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J-GLOBAL ID：200903053074892428
自動焦点調整方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994284877
Publication number (International publication number)：1996148108
Application date： Nov. 18, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】 合焦点を決定するまでの時間を平均的に短縮する。【構成】 焦点補正レンズの電流設定値DFが可変範囲のほぼ中点となるときに焦点位置がそれまでの合焦点になるように対物レンズの電流設定値DRを決定し(ステップ103)、焦点補正レンズ6の電流設定値DRをその中点の近傍では密な間隔で、その中点から離れた領域では粗な間隔で変化させながらそれぞれ合焦度を示す評価関数f(DF)を算出し(ステップ104〜108)、焦点補正レンズの電流設定値DFを評価関数f(DF)がピークとなるときの値に設定する(ステップ114)。
Claim (excerpt)：
荷電粒子線を対物レンズを介して試料に照射する装置における前記対物レンズの焦点位置の調整方法において、前記対物レンズの駆動電流を焦点位置を予想位置に設定するための予想合焦電流に設定する第1工程と;前記予想合焦電流を含む第1の領域では密に、該第1の領域の外側の第2の領域では粗になる間隔で前記対物レンズの駆動電流を変化させ、それぞれ前記試料から発生する荷電粒子より得られる画像を処理して合焦度を示す評価関数を得る第2工程と;前記対物レンズの駆動電流を前記第2工程で得られる評価関数が最大になるときの駆動電流に設定する第3工程と;を有し、次に焦点調整を行う際に前記第1工程における前記予想位置をそれまでの工程で設定されている焦点位置として前記第1工程から第3工程までを繰り返すことを特徴とする自動焦点調整方法。
IPC (3)：
H01J 37/21
, H01J 37/141
, H01J 37/22 502
