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J-GLOBAL ID：200903053083775892

ケミカルキャビネット

Inventor： 末次 雅親 ,  木村 義雄
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998002612
Publication number (International publication number)：1999204398
Application date： Jan. 08, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 載置する機材のレイアウトの自由度が高く、キャビネットの構造を標準化でき、製造コストが低廉で、薬液パンなどの追加の部品を省略することのできるケミカルキャビネットを提供する。【解決手段】 角パイプを用いる代わりに、板材を断面がL字型になるように折り曲げて形成した柱部材と、平面板の外周縁を一定の幅に同じ方向に折り曲げて皿状に形成した棚とを組み合わせることにより、ケミカルキャビネットに必要な剛性を獲得した。角パイプの出っ張りがなく、機材をキャビネットにセットする際、自由にレイアウトすることができる。

Claim (excerpt)：

断面がL字型になるように垂直な軸に沿って折り曲げられた板材からなる柱と、外周縁を上向きに折り曲げられた平面板からなり、前記柱に水平に固着された、薬液供給機材を載置するための棚と、を具備することを特徴とするケミカルキャビネット。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (2)：

H01L 21/30 561 ,  H01L 21/68 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-157794
  
• ブラスト加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-137551   Applicant：株式会社アルプスエンジニアリング
• 特開平4-157794