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J-GLOBAL ID：200903053097355780

走査電子顕微鏡の試料冷却装置

Inventor： 菅原 義弘 ,  伊藤 わたる ,  佐々木 優吉 ,  田形 昭次郎
Applicant, Patent owner： 財団法人ファインセラミックスセンター ,  日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993073871
Publication number (International publication number)：1994290728
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 常温での試料観察から冷却状態での試料観察に短時間で移行できる走査電子顕微鏡の試料冷却装置を提供する。【構成】 試料交換室3の室壁16に真空ベローズ13が取り付けられている。真空ベローズ13の一端に設けられたOリングシール孔17を通して冷媒輸送管12が大気側から試料交換室3内に導入されている。試料を交換後、常温での試料観察から冷却状態での試料観察に移行するには、冷媒輸送管12が接続された試料ホルダー8を試料交換室3内に配置して予備排気し、試料交換棒7により試料ホルダー8を試料移動ステージ2まで移送し、ステージ2に装着する。この移送は、冷媒輸送管12がOリングシール孔17を通して移動することによってなされる。この状態で仕切弁6を開放したまま、試料11の観察を行えば、試料室1を大気に暴露することなく短時間に冷却試料の観察に移行できる。

Claim (excerpt)：

試料ステージを収容する試料室と、該試料室に対して着脱自在に設けられた試料交換室と、前記試料室と試料交換室を仕切るための仕切弁と、前記試料交換室と前記試料ステージとの間で試料ホルダーを移送するための移送手段と、前記試料ホルダーを冷却するため該試料ホルダーに接続される冷媒輸送管を備えた走査電子顕微鏡の試料冷却装置において、前記冷媒輸送管を大気側から試料室内に導くための取り入れ部が前記試料交換室の室壁に形成されており、該取り入れ部は気密を維持して前記冷媒輸送管の前記試料室への挿入量を可変できるように構成されている走査電子顕微鏡の試料冷却装置。

IPC (2)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/28